Ltd. - Laboratóriumi vákuum technológiát, plasmaport
Leírás anyag
- magnetronos porlasztási rendszere (IFA magnetron) szakosodott porlasztás különböző anyagok, valamint a nagy sebességű porlasztás magnetron biztosító fém lerakódás mértéke akár 40 mikron / perc;
- ionforrások a hidegkatódos, amely egy lineáris áramsűrűség 25 mA / cm a hossza a munkaterület;
- elektron-ágyú, tápegységek és vezérli az elektronsugár teljesítmény 50 kW és 500 kW, célja, hogy megoldja a problémákat, a vákuumos felvitel és az elektron-olvasztó fémek;
- nagyfrekvenciás plazma generátorok, amelyek lehetővé teszik a létrehozását sűrű alacsony hőmérsékletű plazma, amely egy univerzális technológiai közeg.
Gyártunk egy sor 3 katódporlasztással és a plazma kémiai üzemek nyolc különböző változatban (IN, TN, MS, MS, MO / MT, PECVD, plazma maratással). A fő különbség a beállításokat „Nick” - egy intuitív interfész, nagy teljesítményt és megbízhatóságot.
Termelés „Laboratórium vákuum technológia” alkalmas feladatok végrehajtása:
- ion-plazma fémfelület;
- nitridáló és karbonitridálás;
- segítő ion;
- lerakódása anyagok az ionizált állapotban (ionizált Vapor Deposition);
- plazma maratással és a lerakódás.
A szállítási technológiai berendezések és felszerelések, valamint egy külön szolgáltatást végzik támogató tanácsadás formájában technikai és technológiai kérdésekről.