Hot katód - Referencia vegyész 21
Ábra. 5. I. Magnetron szelvény kisegítő izzókatóddal
Az oxid izzókatód - keveréke fém-oxidok. felhordható a fém mag. Az alacsony hőmérsékletű katódok, működő közötti hőmérsékleten 900-1300 ° K, eluálószerként alkáliföldfém-oxidok - bárium-, kalcium- és stroncium. Ezek oxidokat kapjuk bomlása által alkáliföldfém-karbonátok. a magra fém a katód. során a meleg-up azonnal egy vákuum-berendezéssel. ahol a katód kell dolgoznia. Alacsony hőmérsékletű oxidkatódokat leginkább széles körben használják az elektronikus eszközök. [C.445]
Cox uktsiya Microtron ábrán látható. 7.4 A fluxus elektronok gerjesztett izzókatód, általában található csak PE [c.284]
A magas-hőmérsékletű oxid katódok. működő hőmérséklet-tartományban 1400-1900 ° K, használnak-oxidok az ittrium és a tórium. Az ilyen izzókatódok főleg használt magnetron. [C.445]
Hatékony izzókatódok. Szo Trans. ed. Shulmana A. R. IL, [c.444]
Értékek BaO. A BaO-HFZ-meleg katódos, a párolgási sebesség valamivel kevesebb. [C.447]
Közül a titán-diborid, vanádium, króm és mangán maximális emissziós összehasonlítható a kibocsátási cérium hexaborid. króm diborid rendelkezik. amelyeket fel lehet használni, mint izzókatódok anyag. [C.111]
A gyorsan mozgó elektron ütközés a felülete az anód elektron történhet akár az abszorpciós anód anyaga, vagy annak reflexió a felületről. Amikor elektron abszorpciós anód anyaga mintegy 70-80% a mozgási energiát hővé alakul. Ha a katód elektród (izzókatód) melegítjük olyan hőmérsékletre, amelyen elektronemisszió érdekében kezdeni intenzív. közötti katód és az anód elektródák létre egy patak elektronok, egy úgynevezett anódáram, amely [c.90] értéket
A gyorsan mozgó elektron ütközés a felülete az anód elektron történhet akár az abszorpciós anód anyaga, vagy annak reflexió a felületről. Amikor elektron abszorpciós anód anyaga mintegy 70-80% a mozgási energiát hővé alakul. Ha a katód elektród (izzókatód) melegítjük olyan hőmérsékletre, amelyen elektronemisszió érdekében kezdeni intenzív. közötti katód és az anód elektródák létre egy patak elektronok, egy úgynevezett anódáram, a nagyságát, amely számszerűen egyenlő a katód emissziós árammal. Miatt bombázása az anód áramlás gyors elektronok hőmérséklete gyorsan emelkedik. A fűtési sebesség és a hőmérséklet-határ függ a nagysága feszültség, és felgyorsítja az anód aktuális. t. e. a teljesítmény az elektronsugár [c.33]
N Monovolframaty Ca Na, ammónium-paravolframát -promezhut. termékek áttört ve W és WO3. Volframátok Na n K termelésben használt-ve volfrám bronz (lásd. Bronz-oxid). Monovolframaty Mg, d és Zn szerepelnek a fényporok. BajWOg ígéretes előállítására termikus katódok. REE Monovolframaty (megolvad tartományban 1030-1580 ° C) -component lézeres anyagok monovolframaty d és a Th-kristályos. lézeres mátrix. V. Dual-alkáli fémek és a lantanida foszforokat. [C.424]
Növények, amelyben egy fűtött fém szolgál az anód, széles körben használják a szakterületen, különösen a szalag tisztítása. Ezekben a növényekben, a forrása a szabad elektronok izzókatód volfrámból készül vagy tantál huzal formájában egy gyűrű. A felmelegített fémet, koaxiálisán van elrendezve a forró katód között, valamint az alkalmazott feszültség felgyorsítja a sorrendben a 10-15 kV. Izzókatód melegítjük [c.33]
Eljárás elektronsugár hegesztéssel alapul munkaállvány bemelegítésére elektron besugárzás egy kamrában nyomáson evakuáljuk alatti 10 5 Hgmm. Art. Az elektronok által kibocsátott forró katód gyorsítja egy elektromos mező energiáját körülbelül 100 keV. Ütközések elektronok a platform kinetikus energiájuk. felének megfelelő fény sebességét. Ez hővé alakul. Ahhoz, hogy a kezelő személy védve előforduló azonos X-ray igényel gondos szűrés. Elektron optika nyaláb középpontjában egy kis területen egy átmérője 0,25 és 1,5 mm, míg áll, hogy táplálja a sorrendben a 10 W / cm. A behatolási mélységét az elektronsugár függ különböző kísérleti paraméterek, például a hegesztési sebesség és teljesítmény a gerenda, és a az anyagok fizikai tulajdonságai a hegesztendő. Mechanizmusok behatolási az elektronok a szilárd, és a folyamat alkotó egy varrat tárgyalt Schwartz [c.250]
Ionizációs mérők izzókatóddal. Az első és a legtöbb logikai egyszerű kiviteli alakja azt az elképzelést, az ionizációs szelvény egy trióda ionizációs lámpát. Amint az ábrából látható. 102 a katód a közepén. amelyek melegítés elektronokat kibocsátani. A katód van földelve, és hengeres ion kollektor van tolva, hogy ez körülbelül 30 V. A lehetséges a rács körülvevő katódot széles menetemelkedés megközelítőleg 180 V. A elektronok által kibocsátott a katód, G I I A felgyorsulnak felé a rács, [c.324]
A felbontás növelése a mikroszkóp érjük gl.obr. javítása elektron optika és az új típusú elektron ágyú. Cseréje hagyományos volfrám izzókatódok a pont katódok LABE javult fényerőt elektronágyú a 5-7 alkalommal, és az átmenet a fegyvereket a téremissziós (avtovmissii) hideg katódok egykristály. W - 50-100-szor, így lehetséges, hogy csökkentse elektron zovda átmérőjű és befejezni. SEM felbontása 1 nm, jelentősen csökkentve a nafuzku atom nyaláb a mintán. [C.441]
Év telt el megjelenése óta az előző, kihirdetését E cikkely (fordításhoz Gyakorlati pásztázó elektronmikroszkóppal. M. Béke, 1978), jellemezte a gyors fejlődés elveinek elektron- és ion-szonda készülékek és kutatási módszereket. Az első helyen itt tartalmaznia kell a létesítmény egy sor raszteres Auger elektron microanalyzers. mint például Lamro -10 (cég LEO) rendszerek elektron és ionsugaras litográfiai. pontossági és technológiai pásztázó elektronmikroszkóp, és így tovább. d. Jelentősen javult eszköz paramétereit. Szóval, most a soros pásztázó elektronmikroszkóp hagyományos volfrám izzókatóddal egy garantált indítvány 50-60 A high-end modell a legmagasabb műszaki épített mini, amellyel automatikusan beállítja az optimális üzemmódban az eszköz, nagyban megkönnyítette és tette könnyebb kezelhetőség műszer. Egyes esetekben, ahelyett, hogy a szokásos gőz-diffúziós szivattyúkat alkalmaznak szivattyúzására turbomolekuláris és ion-szivattyú. létre egy tiszta vákuumot közelében a minta, ezáltal csökkentve a film növekedési üteme a szénhidrogén szennyezők az objektum. [C.5]
Ezek a számítások arra utalnak, hogy a színhiba nem befolyásolja a végső méretét a gerenda (0 óra). Mikroszkóp Nagyfelbontású alacsony gyorsulás feszültségek használatakor wolfram hajtű katódok, a befolyása a színhiba válik triviális. A hozzájárulás a színhiba lehet az alábbi egyenlettel számítottuk (2A) 1 órán = (AE1E) 1Shr a = 0,8 cm [2] az SSF. A izzókatóddal értéke AE 2-3 eV. Ezen értékek felhasználásával a próba mérete 5 nm (50 A) gyorsító feszültség 30 kV feletti = 0,63 rad, azt találjuk, hogy az érték xp 4 nm (40 A). Ez egy jelentős hozzájárulást, és, egyenlet szerinti (2.1), ez lenne a hatása, hogy növeli a 5 nm (50 A) a 6,5 nm-es (65 A). [C19]
Borid izzókatód - katód típusú fém-alapú vegyületek a MeV, ahol Me - alkáliföldfémek és ritkaföldfém vagy tórium. Mivel a legszélesebb körben használt izzókatóddal hex-saborid lantán, ritka - hexaborides ittrium és gadolínium, és a króm diborid. Izzókatódok lantán-hexaborid olyan hőmérsékleten 1650 ° K, és egy termoelektromos áramsűrűség 40-50 A / cm a tértöltés rezsim. és amikor egy nagy elektromos tér intenzitása a felületén a katód - 200 a1sm. Nagy mechanikai szilárdság és stabilitás a katód ionbombázási lehet használni Hx téremissziós módban (ha a külső elektromos mező 10 V / kompressziós csatorna jelentős része az emissziós áram miatt alagút [c.445]
A plazmában eloxálás fő szikraköz elektródák (katód és az anód) csak fenntartása a kisülési. A dielektromos film egy oxidálható szubsztrátumot merítjük egy oxigén plazmában és adagolt ofszet, független a fő mentesítés. Az áramlás az egyenáramú eloxálás - emoy film használt ellenelektród elmerül a plazmában. Lehetséges, hogy bármelyik kisnyomású ködfénykisüléssel, ív, nagyfrekvenciás és mikrohullámú sütő. Fontos, hogy a plazmakisülés képes képezni a megfelelő paraméterek bolschoy térfogat és nem okoz porlasztás az elektródák. mivel spray-termékek szennyezik a növekvő oxid források és vált hibák. Arc megfelel ezeknek a követelményeknek, de nem sok haszna van az ipari felhasználásra miatt gyors pusztulását a izzókatóddal az aktív oxigén környezetben. Alkalmazása RF és mikrohullámú elektród nélküli kisülési teljesen kiküszöböli a permet fő elektródák. de továbbra is lehetséges porlasztás dielektromos ellenelektróda és a vákuumkamrában falak. [C.155]
Fontos tulajdonsága Nb. Ta, NG, boridok REM az a képesség, hogy kiadja az elektronok erős áramlások hevítésre széles körben használják, hogy forró armatúra vákuumos eszközök (lantán-boridot kibocsátási fluxussűrűség elérheti a 10 a1sm). Katódok lantán-boridot használnak, például kemencék elektronsugaras hegesztés. Ittrium-oxid létrehozásához használt termikus katódok pulzáló magnetron. [C.23]
Metal izzókatódok gyártjuk tóriumos volfrám és tóriumos volfrám karbidiro -Bath jelenleg találni csak korlátozott alkalmazás. [C.445]
Az érdeklődés az ilyen típusú transzmissziós elektronmikroszkóppal után megjelent képesek létrehozni nagyon hatásuk-WIDE elektron források (lantán-hexaborid izzókatód és téremissziós katód), amely lehetővé tette, hogy egy magas intenzitása egy vékony szondát. RPEM felbontás nem lehet jobb, mint a szonda részben. Jelenleg, a szokásos felbontását [c.547]
Növények, amelyben egy fűtött fém szolgál az anód, széles körben használják a szakterületen, különösen a szalag tisztítása. Ezekben a növényekben, a forrása a szabad elektronok izzókatód volfrámból készül vagy tantál huzal formájában egy gyűrű. A felmelegített fémet, koaxiálisán van elrendezve a forró katód között, valamint az alkalmazott feszültség felgyorsítja a sorrendben a 10-15 kV. 2 Tormokatod melegítjük 000-2 500 ° C-on vezetjük egyenáramú. Mivel az elektron bom bardirov1ki fém lehet pontosan melegítjük bármelyike neob- LE1 Tron szükséges hőmérsékletet, beleértve a szabotázs-kerek forráspontú vagy bepárlással. Az ilyen rendszer „[c.91]
Elektronágyú van egy olyan rendszer a két elektróda alatt egy potenciális különbség, és egymástól elszigetelt. A rések az egyik elektródán, úgynevezett a katód, izzókatód található a másik elektród - az anód van továbbá egy rés alakjának megfelelő az elektronsugár. A konfiguráció a elektródák van megválasztva, hogy em1itiruemye Izzókatódos elektronok hatása alatt elektrosztatikus mező az elektródok térben összegyűlt egy szűk köteg. [C.91]
Kataforézis jelenséget használják a különböző iparágakban. Például, a radioelektroinoy szakterületen oxidkatódokat gyártott kataforézis. és toriavye-oxid és ittrium-oxid izzókatódok közvetlen és közvetett melegítjük. [C.218]